相較於常規集成電路（IC）工藝，MEMS傳感器工藝流程標準化程度低，往往需要結合器件的整體結構、功能參數等多方麵因素進行針對性開發，定製化需求很高，導致工藝研發周期長，研發成本和生產成本高。此外，由於單步工藝之間的兼容性較差，單步工藝的關鍵參數波動較大，導致類似工藝很難標準化，需要重複開發。

 

    2021年起，上海工研院承擔了科技部重點研發計劃“8英寸MEMS傳感器加工中試平台”項目，核心內容就是針對多種類MEMS器件，開發通用工藝模塊並形成標準工藝設計套件（PDK），解決MEMS製造中的單項工藝普適性差的問題，推動MEMS工藝的“部分”標準化，從而逐步解決我國核心MEMS產品製造的“卡脖子”問題。通過研發成套關鍵共性工藝的係統集成，將原本獨立的單步工藝，轉化為基於PDK的標準工藝模塊，推動MEMS工藝從傳統的“碎片化”狀態向“模塊化”發展，從而提高了MEMS工藝91视频免费观看的通用性、標準化和集成度，提升我國MEMS工藝91视频免费观看的源頭供給能力。在此基礎上，將PDK模塊進行科學合理的有機組合，上海工研院進一步提升了研發中試線的工藝水平，可以大幅縮短研發周期和降低客戶的研發成本。

 

     在重點研發計劃的支持下，上海工研院已完成14套MEMS PDK模塊，包括：MEMS專用SOI晶圓、MEMS專用CSOI晶圓、SOI基底AlN壓電工藝、CSOI基底AlN壓電工藝、高厚度幹膜、聚酰亞胺薄膜、金屬矽通孔、矽介質矽通孔、片上薄膜吸氣劑、氧化釩薄膜、大背腔刻蝕、晶圓鍵合、矽超透鏡和熒光場生物芯片工藝PDK，其中5項成果已成功入選上海市科委發布的《2023年上海市科技進步報告》。

 

     上海工研院具有紮實的研發實力和豐富的服務經驗，致力於為客戶提供全麵、高效、可靠的工藝模塊化加工服務。根據客戶的不同需求，91视频免费播放有信心為您找到最佳的解決方案。如需了解更多信息，可以下載附件中的PDK模塊。